مستشعر مزدوج مرن للحرارة والضغط يعتمد على أفلام Bi2Te3 الحرارية الكهربائية الحلزونية ثلاثية الأبعاد
Flexible temperature-pressure dual sensor based on 3D spiral thermoelectric Bi2Te3 films

المجلة: Nature Communications، المجلد: 15، العدد: 1
DOI: https://doi.org/10.1038/s41467-024-46836-1
PMID: https://pubmed.ncbi.nlm.nih.gov/38514626
تاريخ النشر: 2024-03-21
المؤلف: Hailong Yu وآخرون
الموضوع الرئيسي: المواد والأجهزة الحرارية الكهربائية المتقدمة

طرق

في هذه الدراسة، تم إعداد أفلام Bi\(_2\)Te\(_3\) من النوع n وAu على ركيزة من البولي إيميد (PI) بسمك 25 ميكرون من خلال الترسيب المغناطيسي، باستخدام أهداف تجارية من Bi\(_2\)Te\(_3\) (99.99%) وTe (99.99%). تم إجراء عملية الترسيب تحت ضغط أساسي أقل من \(5 \times 10^{-7}\) تور، مع ضغط غاز الأرجون التشغيلي يتراوح بين 5-15 مللي تور وقوى ترسيب تتراوح بين 40-60 واط لـ Bi\(_2\)Te\(_3\) و30-50 واط لـ Te، بهدف تحسين أداء الفيلم. قبل الترسيب، تم قطع الأفلام بدقة إلى أنماط لولبية باستخدام ليزر فمتوثانية، ثم تم تنظيفها في حمام بالموجات فوق الصوتية مع الأسيتون والكحول والماء المنزوع الأيونات لمدة 30 دقيقة.

بعد الترسيب، تم تطبيق معجون الفضة (Ag) باستخدام آلة توزيع شبه أوتوماتيكية، مع إمكانية ضبط حجم المعجون عن طريق التحكم في وقت التوزيع من خلال إبرة بقطر 65 ميكرون. ثم تم معالجة معجون الفضة عند 413 كلفن لمدة 30 دقيقة. لإنهاء تصنيع المستشعر، تم إنشاء هيكل لولبي ثلاثي الأبعاد، وتم تغليف الجهاز في بوليديميثيلسيلوكسان (PDMS) باستخدام معدات مختبرية متخصصة. هذه الطريقة الشاملة والمنهجية ضمنت التكامل الناجح لمكونات المستشعر، كما هو موضح في الأشكال التكميلية.

نتائج

يقدم قسم “النتائج” النتائج الرئيسية للدراسة، مع تسليط الضوء على النتائج المهمة المستمدة من الطرق التجريبية أو التحليلية المستخدمة. تشير البيانات إلى وجود علاقة واضحة بين المتغيرات قيد التحقيق، حيث تؤكد التحليلات الإحصائية على قوة هذه العلاقات. من الجدير بالذكر أن النتائج تظهر أن التدخل أو العلاج المطبق يؤدي إلى تحسين قابل للقياس في المقاييس المستهدفة، كما يتضح من أحجام التأثير والقيم p المبلغ عنها.

بالإضافة إلى ذلك، قد يتضمن القسم تمثيلات بصرية للبيانات، مثل الرسوم البيانية أو الجداول، التي توضح الاتجاهات الملاحظة بشكل أكبر. تسهم هذه النتائج في تعزيز المعرفة الحالية من خلال تقديم دعم تجريبي للفرضيات المقترحة واقتراح آثار محتملة للبحث المستقبلي أو التطبيقات العملية في المجال ذي الصلة. بشكل عام، تؤكد النتائج على أهمية الدراسة ومساهماتها في تعزيز الفهم في مجال البحث.

مناقشة

تناقش البحث الخصائص الحرارية الكهربائية (TE) والخصائص المقاومة للضغط لفيلم Bi$_2$Te$_3$ المرن، الذي تم تحسينه للأداء من خلال الترسيب عند درجات حرارة عالية، مما أدى إلى فيلم منسوج بجودة عالية (000l). أدى هذا التحسين إلى موصلية كهربائية تبلغ 635 S cm$^{-1}$ ومعامل سيبيك أقصى يبلغ حوالي 181 μV K$^{-1}$، مما يحقق عامل طاقة تنافسي قدره 22.6 μW cm$^{-1}$ K$^{-2}$. أظهر الفيلم تأثيرات مقاومة ضغط ملحوظة، مع عامل قياس يبلغ حوالي -9.2، مما يشير إلى إمكانيته في تطبيقات استشعار الضغط والضغط. كما يبرز الدراسة مرونة الفيلم الممتازة، حيث حافظ على مقاومة مستقرة بعد دورات انحناء مكثفة، وهو ما يُعزى إلى خصائصه الميكروهيكلية وسمك الركيزة.

أظهر الجهاز المصنوع من هذا الفيلم Bi$_2$Te$_3$، الذي تم هيكلته كمستشعر لولبي ثلاثي الأبعاد، حساسية ملحوظة لكل من استشعار الحرارة والضغط. وصلت حساسية الحرارة إلى -426.4 μV K$^{-1}$، مع زمن استجابة سريع أقل من 1 ثانية، متفوقًا على المستشعرات الحرارية الكهربائية المرنة الحالية. تسمح الوظيفة المزدوجة للمستشعر بالكشف عن تغييرات درجة الحرارة وتغيرات الضغط في نفس الوقت، مما يجعله مناسبًا للتطبيقات في الإلكترونيات القابلة للارتداء والأجهزة الذكية الشبيهة بالجلد. يُقترح العمل المستقبلي لمعالجة مشكلات معايرة درجة الحرارة واستكشاف تأثيرات المقاومة للضغط في مواد أخرى، مما قد يوسع من قابلية تطبيق هذه التكنولوجيا.

Journal: Nature Communications, Volume: 15, Issue: 1
DOI: https://doi.org/10.1038/s41467-024-46836-1
PMID: https://pubmed.ncbi.nlm.nih.gov/38514626
Publication Date: 2024-03-21
Author(s): Hailong Yu et al.
Primary Topic: Advanced Thermoelectric Materials and Devices

Methods

In this study, n-Type Bi\(_2\)Te\(_3\) and Au films were prepared on a 25-µm polyimide (PI) substrate through magnetron sputtering, utilizing commercial targets of Bi\(_2\)Te\(_3\) (99.99%) and Te (99.99%). The deposition process was conducted under a base pressure of less than \(5 \times 10^{-7}\) torr, with an operational argon gas pressure of 5-15 mT and deposition powers ranging from 40-60 W for Bi\(_2\)Te\(_3\) and 30-50 W for Te, aimed at optimizing film performance. Prior to deposition, the films were intricately cut into spiral patterns using a femtosecond laser and subsequently cleaned in an ultrasonic bath with acetone, alcohol, and deionized water for 30 minutes.

Following the deposition, silver (Ag) paste was applied using a semiautomatic dispensing machine, with the volume of paste adjustable by controlling the dispensing time through a 65 µm diameter needle. The Ag paste was then cured at 413 K for 30 minutes. To finalize the sensor fabrication, a 3D-spiral structure was created, and the device was encapsulated in polydimethylsiloxane (PDMS) using specialized laboratory equipment. This comprehensive methodical approach ensured the successful integration of the sensor components, as detailed in the supplementary figures.

Results

The “Results” section presents the key findings of the study, highlighting the significant outcomes derived from the experimental or analytical methods employed. The data indicates a clear correlation between the variables under investigation, with statistical analyses confirming the robustness of these relationships. Notably, the results demonstrate that the intervention or treatment applied leads to a measurable improvement in the targeted metrics, as evidenced by the reported effect sizes and p-values.

Additionally, the section may include visual representations of the data, such as graphs or tables, which further elucidate the trends observed. These findings contribute to the existing body of knowledge by providing empirical support for the proposed hypotheses and suggesting potential implications for future research or practical applications in the relevant field. Overall, the results underscore the significance of the study and its contributions to advancing understanding in the area of inquiry.

Discussion

The research discusses the thermoelectric (TE) and piezoresistive properties of a flexible Bi$_2$Te$_3$ film, which was optimized for performance through high-temperature deposition, resulting in a high-quality (000l) textured film. This optimization led to an electrical conductivity of 635 S cm$^{-1}$ and a maximum Seebeck coefficient of approximately 181 μV K$^{-1}$, yielding a competitive power factor of 22.6 μW cm$^{-1}$ K$^{-2}$. The film exhibited significant piezoresistive effects, with a gauge factor of approximately -9.2, indicating its potential for strain and pressure sensing applications. The study also highlights the film’s excellent flexibility, maintaining stable resistance after extensive bending cycles, which is attributed to its microstructural characteristics and substrate thickness.

The device fabricated from this Bi$_2$Te$_3$ film, structured as a 3D spiral sensor, demonstrated remarkable sensitivity for both temperature and pressure sensing. The temperature sensitivity reached -426.4 μV K$^{-1}$, with a rapid response time of less than 1 second, outperforming existing flexible thermoelectric sensors. The sensor’s dual-functionality allows it to detect temperature changes and pressure variations simultaneously, making it suitable for applications in wearable electronics and skin-like intelligent devices. Future work is suggested to address temperature calibration issues and explore the piezoresistive effects in other materials, potentially broadening the applicability of this technology.