الأبحاث المرتبطة بالكلمة المفتاحية: البصريات المتوافقة مع CMOS

ضبط نطاق واسع من الفجوة والانبعاثات بين النقاط الكمومية السيليكونية وحالات العيوب في الأفلام الرقيقة من السيليكون أكسيد النيتريد المرشوش RF Broad bandgap tuning and emission interplay between silicon quantum dots and defect states in RF-sputtered silicon oxynitride thin films

2026 | المؤلف: Luis Fernando Garrido-García وآخرون | المجلة: Frontiers in Physics | المجال: كيمياء المواد (Materials Chemistry)

في هذه الدراسة، بحث المؤلفون في نمو أفلام السيليكون الأكسيد نيتريد غير الستيوكيومترية (SiON) باستخدام تقنية الرش المغناطيسي بتردد الراديو (RF-MS) من أهداف Si₃N₄، مع أو بدون إدخالات من السيليكون. وقد أظهروا أن الخصائص البصرية والهيكلية والشكلية للأفلام يمكن ضبطها بدقة عن طريق تعديل التركيب الكيميائي ودرجة حرارة الركيزة وقوة RF. تم تغيير فجوة الطاقة…