يقدم هذا القسم تقدمًا كبيرًا في دمج الفوتونيات من نيتريد السيليكون، حيث يعالج القيود المفروضة من خلال التلدين عند درجات حرارة عالية وتدفقات العمليات المتغيرة لسمك الموجات المختلفة. يذكر المؤلفون أنهم حققوا أدنى خسائر حتى الآن لعملية خالية من التلدين عند درجة حرارة قصوى تبلغ 250 درجة مئوية، باستخدام طريقة تصنيع قائمة على السيلان الديوتيري.…