تتناول المراجعة التقدمات الأخيرة في أنظمة الميكروإلكترو ميكانيكية (MEMS) الرنانة، مع التركيز بشكل خاص على أجهزة استشعار MEMS الرنانة التي تستخدم التشغيل الكهروستاتيكي لاستشعار المجالات المغناطيسية والكهربائية. تتميز هذه المستشعرات بانخفاض استهلاك الطاقة، وسرعة الاستجابة الميكانيكية، والتوافق مع تصنيع CMOS. تصنف الورقة المستشعرات إلى نوعين رئيسيين: مستشعرات المجال المغناطيسي، التي تعمل من خلال الحث الكهرومغناطيسي،…