تقدم هذه الدراسة أول تحقيق تجريبي لعدسة معدنية من نيتريد الألمنيوم (AlN) مع فتحة عددية قياسية (NA) تصل إلى 0.9 عند طول موجي للأشعة فوق البنفسجية العميقة (DUV) يبلغ 266 نانومتر. تحقق العدسة المعدنية تركيزًا محدودًا بالتشتت مع حجم بقعة يبلغ حوالي 150 نانومتر، متجاوزة بشكل كبير البصريات السابقة للميتا سطح في نطاق DUV. تسلط…