تقدم البحث تقنية المسح التداخلي بتقنية فورييه (FP-CSI)، وهي تقنية جديدة مصممة للتوصيف الدقيق وغير المدمر للخنادق الدقيقة ذات نسبة الأبعاد العالية (HAR) والمركبة، والتي تعتبر أساسية في التصنيع الدقيق المتقدم. تواجه تقنية المسح التداخلي التقليدية (CSI) تحديات مثل نسبة الإشارة إلى الضوضاء المنخفضة (SNR) والدقة الجانبية المحدودة عند تقييم الهياكل ذات النسبة العالية. بالمقابل،…