تقدم هذه البحث عملية تصنيع جديدة لترانزستورات الأفلام الرقيقة من أنابيب الكربون النانوية (CNT) التي تعالج التحديات المرتبطة بتلوث المقاومة أثناء التصنيع التقليدي. تستخدم الطريقة المقترحة تقنية الحفر بالطبقات الذرية (ALE) بالاشتراك مع طبقة تضحوية من Y₂O₃ لتحديد المنطقة النشطة من أنابيب الكربون النانوية. تتيح هذه الطريقة الحفر الانتقائي للمادة العازلة فوق مناطق المصدر/المصرف مع…