يقدم القسم تقدمًا في تقنية الطباعة الضوئية بدون قناع المعتمدة على أجهزة المرايا الدقيقة الرقمية (DMPL)، والتي تعيقها قيود الانكسار الضوئي التي تؤثر على دقة الهياكل النانوية ذات الكثافة العالية. يتناول المؤلفون تحديات تشويه الأنماط وفقدان المعلومات عالية التردد بسبب تصفية وظيفة البؤرة وتعديل الطور الناتج عن عدم التركيز. يقدمون تقنية التعرض المتعدد (ME) التي…