تتناول المراجعة التقدمات الأخيرة في أنظمة الميكروإلكترو ميكانيكية (MEMS) الرنانة، مع التركيز بشكل خاص على أجهزة استشعار MEMS الرنانة التي تستخدم التشغيل الكهروستاتيكي لاستشعار المجالات المغناطيسية والكهربائية. تتميز هذه المستشعرات بانخفاض استهلاك الطاقة، وسرعة الاستجابة الميكانيكية، والتوافق مع تصنيع CMOS. تصنف الورقة المستشعرات إلى نوعين رئيسيين: مستشعرات المجال المغناطيسي، التي تعمل من خلال الحث الكهرومغناطيسي،…

تركز الأبحاث على مستشعرات السيليكون الرنانة، التي تعتبر محورية للكشف عن الضغط، والتسارع، والحقول المغناطيسية من خلال مراقبة التغيرات في التردد الرناني لمذبذبات السيليكون الميكانيكية الدقيقة. عادةً ما تظهر هذه التغيرات في التردد علاقة خطية مع الاضطرابات. لتعزيز حساسية هذه المستشعرات بما يتجاوز الحدود الهندسية التقليدية، تستكشف الدراسة استخدام التفردات غير الهيرميتيانية، وبشكل خاص النقاط…