تستعرض هذه القسم من الورقة التقدمات في أنظمة الميكرو-إلكترو-ميكانيكية (MEMS) المحركات للأجهزة التيراهيرتز، مع التركيز على فوائدها مثل التصغير، واستهلاك الطاقة المنخفض، والتكامل العالي. يقوم المؤلفون بتحليل آليات القيادة المختلفة واستراتيجيات التكامل، موضحين خصائص الأداء لمختلف محركات MEMS التيراهيرتز المستخدمة في تطبيقات مثل المفاتيح والمذبذبات القابلة للتعديل. تشمل التطبيقات البارزة الاستشعار، وضبط التردد والاستقطاب، وتشكيل…