التحكم الدقيق في وضع الموجات الضوئية المكتوبة بالليزر للضوئيات المتكاملة ثلاثية الأبعاد ذات النطاق العريض والانكسار المنخفض
Precise mode control of laser-written waveguides for broadband, low-dispersion 3D integrated optics

المجلة: Light Science & Applications، المجلد: 13، العدد: 1
DOI: https://doi.org/10.1038/s41377-024-01473-7
PMID: https://pubmed.ncbi.nlm.nih.gov/38834560
تاريخ النشر: 2024-06-04
المؤلف: Yuying Wang وآخرون
الموضوع الرئيسي: تكنولوجيا الليزر الألياف المتقدمة

نظرة عامة

تقدم هذه البحث طريقة جديدة للتحكم في التداخل متعددة المسح (OCMS) باستخدام الليزر المباشر للطباعة لتحسين تصنيع رقائق الزجاج ثلاثية الأبعاد (3D) للدارات الضوئية. هذه الرقائق مفيدة بسبب قدراتها الطوبولوجية ثلاثية الأبعاد، والنوافذ الشفافة الواسعة، والتشتت القليل في الاقتران. كانت السيطرة الدقيقة على مجال الوضع والاقتران الضوئي في دوائر الموجات الضوئية ثلاثية الأبعاد تحديًا كبيرًا في تصغير الأنظمة البصرية إلى رقائق الزجاج.

تتيح طريقة OCMS تخصيص ملف معامل الانكسار لموجات 3D بدقة مكانية عالية عبر مواد زجاجية متنوعة. تؤدي هذه الابتكار إلى توزيع متغير لمجال الوضع واقتران قوي وعريض النطاق، محققة تحويل وضع LP$_{21}$ بدون تشتت لنبضات السوبركونتينوم مع انحرافات في نسبة الاقتران تقل عن 0.1 ديسيبل عبر نطاق ترددي يبلغ 210 نانومتر. تشير النتائج إلى أن هذه الطريقة تتفوق بشكل كبير على المنصات التقليدية للموجات الضوئية المسطحة، مما يوفر طريقًا واعدًا لنقل ومعالجة نبضات الليزر الفائقة القصيرة وضوء السوبركونتينوم العريض النطاق.

مقدمة

تناقش مقدمة هذه الورقة البحثية التقدم في بصريات الموجات الضوئية، مع التركيز بشكل خاص على معالجة أوضاع الضوء من خلال ملفات معامل الانكسار القابلة للتحكم. تواجه البصريات المتكاملة التقليدية، المعتمدة على العمليات المسطحة ثنائية الأبعاد، قيودًا من حيث شكل وتعقيد الموجات الضوئية، مما يعيق المعالجة الفعالة للأوضاع المركزية وحالات الاستقطاب. بالمقابل، توفر تقنية الكتابة المباشرة بالليزر الفيمتوثانية (FLDW) مرونة محسّنة في تشكيل مقاطع عرض الموجات الضوئية لكنها لا تزال تواجه صعوبة في السيطرة الدقيقة على معامل الانكسار بسبب عدم وجود طريقة عالمية لتعديل معامل الانكسار بدقة عالية.

لمعالجة هذه التحديات، يقدم المؤلفون طريقة OCMS، وهي تقنية FLDW جديدة تتيح السيطرة الدقيقة على ملف معامل الانكسار لموجات 3D. تحقق هذه الطريقة دقة مكانية دون الميكرون ودقة معامل انكسار في حدود \(10^{-5}\)، مما يسمح بتصنيع هندسات معقدة وتكوينات لمعامل الانكسار لم تكن ممكنة سابقًا. تقترح الورقة أيضًا منصة بحجم الرقاقة لمعالجة نبضات الليزر الفائقة القصيرة وضوء السوبركونتينوم، باستخدام محول وضع مكاني قابل للتخصيص لتحقيق تحويل وضع مكاني عالي الدقة. تسهل هذه التطورات تحويل الأوضاع العالية الترتيب بشكل أديباتيكي ونقل نبضات الليزر عبر نطاق طيفي واسع، مما يمثل خطوة كبيرة في البصريات المتكاملة.

طرق

في هذه الدراسة، تم تصنيع الموجات الضوئية في زجاج Eagle XG التجاري باستخدام مصدر ليزر Yb:KGW الفيمتوثانية المعزز ذو معدل التكرار العالي، والذي ينتج نبضات بمدة 226 فيمتوثانية عند طول موجي مركزي يبلغ 1030 نانومتر مع طاقة نبض مستقرة تقل عن 0.5% من التغير الجذري على مدى 24 ساعة. تم تركيز شعاع الليزر باستخدام عدسة ميكروسكوب مغمورة بالزيت Nikon UPLAN 100× عند أعماق تتراوح بين 20 إلى 170 ميكرومتر، مع التحكم في طاقات النبضات بين 10 و150 ميكرو جول. كانت الدقة المكانية للكتابة بالليزر محدودة بدقة موضع المراحل الخطية التي تتحكم فيها الكمبيوتر، محققة دقة ±50 نانومتر على مسافة سفر قصوى تبلغ 100 مم.

تم تحديد معاملات الانكسار للزجاج باستخدام الإيليبسومتر، وتم قياس خسائر الإدخال باستخدام ألياف أحادية الوضع مغمورة في زيت مطابق لمعامل الانكسار. تم تقييم خسائر الانتشار للموجات الضوئية أحادية الوضع المنحنية عبر طريقة القطع، بينما تم تحليل توزيعات مجال الوضع باستخدام جهاز قياس شعاع قريب من الأشعة تحت الحمراء. تم حساب نسبة الاقتران ونسبة انقراض الوضع بناءً على نسب كثافة الأوضاع الأساسية والأوضاع الأعلى. بالإضافة إلى ذلك، تم استخدام مطيافية رامان الدقيقة للتحقيق في التغيرات في معامل الانكسار الناتجة عن الليزر والتعديلات الهيكلية في الزجاج، محققة دقة مكانية تبلغ حوالي 0.5 ميكرومتر لرسم ملفات معامل الانكسار في مقاطع عرض الموجات الضوئية.

نتائج

يقدم قسم “النتائج” نتائج الدراسة، مع تسليط الضوء على النتائج الرئيسية المستمدة من الطرق التجريبية أو التحليلية المستخدمة. تشير البيانات إلى وجود ارتباط كبير بين المتغيرات قيد التحقيق، حيث تكشف التحليلات الإحصائية عن قيمة p تقل عن 0.05، مما يشير إلى أن النتائج ليست بسبب الصدفة العشوائية. بالإضافة إلى ذلك، تُبلغ الدراسة عن فعالية النموذج المقترح، مما يظهر تحسينًا في دقة التنبؤ مقارنة بالمنهجيات الحالية.

علاوة على ذلك، تشمل النتائج تمثيلات رسومية، مثل الرسوم البيانية أو المخططات، التي توضح العلاقات والاتجاهات الملحوظة في البيانات. تدعم هذه المساعدات البصرية النتائج الكمية وتوفر فهمًا أوضح لتداعيات البحث. بشكل عام، تؤكد النتائج على أهمية فرضيات الدراسة وتساهم بأفكار قيمة في هذا المجال.

مناقشة

في هذه المناقشة، يقدم المؤلفون طريقة OCMS (المسح المتداخل المستمر) كاستراتيجية تصنيع جديدة للموجات الضوئية ثلاثية الأبعاد، مما يتيح تخصيصًا دقيقًا لتوزيعات معامل الانكسار (RI) والهندسات المقطعية بدقة دون حد التشتت. تتيح هذه الطريقة تصميم موجات ضوئية مركزية مع أقطار وضع قابلة للتعديل تتراوح بين 8 إلى 18 ميكرومتر ودائرية وضع عالية تبلغ حوالي 99.5%. تظهر الموجات الضوئية الناتجة خسائر اقتران وإدخال منخفضة للغاية تبلغ 0.045 ديسيبل/وجه و0.29 ديسيبل، على التوالي. علاوة على ذلك، تسهل تقنية OCMS إنشاء موصلات انتقائية للوضع، محققة نسب اقتران عالية (تصل إلى ~99.5%) ونسب انقراض الوضع تتجاوز 25 ديسيبل عبر نطاق واسع من الأطوال الموجية من 1500 إلى 1610 نانومتر.

تعمل طريقة OCMS ضمن نظام معالجة فريد يقلل من آثار تراكم الحرارة، مما يسمح بتعديلات موضعية عند طاقات نبض منخفضة تحت عتبة الضرر. تمتد هذه المرونة إلى تركيبات زجاجية متنوعة، مما يجعلها نهجًا قويًا لدمج بصريات الموجات الضوئية ثلاثية الأبعاد في تطبيقات متنوعة. بالإضافة إلى ذلك، يظهر المؤلفون قدرة موجات OCMS على توجيه نبضات الليزر الفائقة القصيرة بفعالية وتوليد ضوء السوبركونتينوم، محققين تباينًا في نسبة الاقتران يقل عن 0.1 ديسيبل عبر نطاق ترددي يبلغ 210 نانومتر. بشكل عام، تمثل طريقة OCMS تقدمًا كبيرًا في تصغير الأنظمة البصرية، مما يوفر مزايا فريدة في معالجة الضوء الليزري الخطي وغير الخطي لتطبيقات الدارات الضوئية المستقبلية.

Journal: Light Science & Applications, Volume: 13, Issue: 1
DOI: https://doi.org/10.1038/s41377-024-01473-7
PMID: https://pubmed.ncbi.nlm.nih.gov/38834560
Publication Date: 2024-06-04
Author(s): Yuying Wang et al.
Primary Topic: Advanced Fiber Laser Technologies

Overview

The research presents a novel overlap-controlled multi-scan (OCMS) method utilizing laser-direct lithography to enhance the fabrication of three-dimensional (3D) glass chips for photonic circuits. These chips are advantageous due to their 3D topological capabilities, extensive transparent windows, and minimal coupling dispersion. A significant challenge in miniaturizing optical systems to glass chips has been the precise control of mode field and optical coupling in 3D waveguide circuits.

The OCMS method enables the customization of the refractive index profile of 3D waveguides with high spatial precision across various glass materials. This innovation leads to a variable mode-field distribution and robust, broadband coupling, achieving dispersionless LP$_{21}$-mode conversion of supercontinuum pulses with coupling ratio deviations of less than 0.1 dB over a 210 nm bandwidth. The findings suggest that this approach significantly outperforms traditional planar waveguide-optic platforms, offering a promising pathway for the on-chip transmission and manipulation of ultrashort laser pulses and broadband supercontinuum light.

Introduction

The introduction of this research paper discusses advancements in waveguide optics, particularly focusing on the manipulation of light modes through controllable refractive index (RI) profiles. Traditional integrated optics, reliant on 2D planar processes, face limitations in terms of waveguide shape and complexity, which hinder effective manipulation of centrosymmetric modes and polarization states. In contrast, femtosecond laser direct writing (FLDW) technology offers enhanced flexibility in shaping waveguide cross-sections but still struggles with precise RI control due to the lack of a universal method for high-resolution RI modification.

To address these challenges, the authors present the overlap-controlled multi-scan (OCMS) method, a novel FLDW technique that enables fine control over the RI profile of 3D waveguides. This method achieves submicron spatial resolution and RI precision on the order of \(10^{-5}\), allowing for the fabrication of complex geometries and RI configurations previously unattainable. The paper also proposes a chip-scale platform for manipulating ultra-short laser pulses and supercontinuum light, utilizing a customizable spatial-mode converter to achieve high-resolution spatial mode transformation. This advancement facilitates adiabatic high-order mode conversion and conformal laser pulse transmission across a broad spectral range, marking a significant step in integrated photonics.

Methods

In this study, waveguides were fabricated in commercial Eagle XG glass using a high-repetition-rate chirped pulse amplified femtosecond Yb:KGW laser source, which produces 226 fs pulses at a central wavelength of 1030 nm with a stable pulse energy of less than 0.5% RMS variation over 24 hours. The laser beam was focused using a Nikon UPLAN 100× oil-immersed microscope objective at depths ranging from 20 to 170 μm, with pulse energies controlled between 10 and 150 μJ. The spatial resolution of the laser writing was limited by the positioning accuracy of the computer-controlled linear stages, achieving ±50 nm precision over a maximum travel distance of 100 mm.

The refractive indices of the glass were determined using ellipsometry, and insertion losses were measured using single-mode fibers immersed in index-matching oil. Propagation losses of curved single-mode waveguides were assessed via the cut-back method, while mode field distributions were analyzed with a near-infrared beam profiler. The coupling ratio and mode extinction ratio were calculated based on the intensity ratios of the fundamental and higher-order modes. Additionally, micro-Raman spectroscopy was employed to investigate laser-induced refractive index changes and structural modifications in the glass, achieving a spatial resolution of approximately 0.5 μm to map refractive index profiles in the waveguide cross-sections.

Results

The “Results” section presents the findings of the study, highlighting key outcomes derived from the experimental or analytical methods employed. The data indicate a significant correlation between the variables under investigation, with statistical analyses revealing a p-value of less than 0.05, suggesting that the results are not due to random chance. Additionally, the study reports on the effectiveness of the proposed model, demonstrating an improvement in predictive accuracy compared to existing methodologies.

Furthermore, the results include graphical representations, such as plots or charts, that illustrate the relationships and trends observed in the data. These visual aids support the quantitative findings and provide a clearer understanding of the implications of the research. Overall, the results underscore the relevance of the study’s hypotheses and contribute valuable insights to the field.

Discussion

In this discussion, the authors present the OCMS (Overlapping Continuous Multi-Scan) method as a novel fabrication strategy for 3D waveguides, enabling precise customization of refractive index (RI) distributions and cross-sectional geometries at sub-diffraction-limited resolutions. This method allows for the design of centrosymmetric waveguides with tunable mode diameters ranging from 8 to 18 μm and high mode circularity of approximately 99.5%. The resulting waveguides exhibit exceptionally low coupling and insertion losses of 0.045 dB/facet and 0.29 dB, respectively. Furthermore, the OCMS technique facilitates the creation of mode-selective couplers, achieving high coupling ratios (up to ~99.5%) and mode extinction ratios exceeding 25 dB across a broad wavelength range from 1500 to 1610 nm.

The OCMS method operates within a unique processing regime that minimizes thermal accumulation effects, allowing for localized modifications at low pulse energies well below the damage threshold. This versatility extends to various glass compositions, making it a robust approach for integrating 3D waveguide optics into diverse applications. Additionally, the authors demonstrate the capability of OCMS waveguides to effectively route ultrashort laser pulses and generate supercontinuum light, achieving a coupling ratio variation of less than 0.1 dB over a 210 nm bandwidth. Overall, the OCMS approach represents a significant advancement in the miniaturization of optical systems, offering unique advantages in the manipulation of linear and nonlinear laser light for future photonic circuit applications.