تركز الأبحاث على النمو الطبقي لمركبات أشباه الموصلات من مجموعة النيتريد 13، وبشكل خاص GaN و AlN وسبائك AlGaN، باستخدام ترسيب البخار الكيميائي المعدني العضوي (MOCVD) مع مواد أولية خالية من الكربون. بينما تعتبر الطرق التقليدية التي تستخدم الجزيئات المعدنية العضوية فعالة من حيث التكلفة ومنتجة، إلا أنها تقدم شوائب كربونية تؤثر سلبًا على أداء…