الأبحاث ضمن الموضوع : تقنيات الدوائر المتكاملة ثلاثية الأبعاد وتقنيات TSV
-
الاعتماد على الزمن ودرجة الحرارة في تطور الإجهاد المتبقي وسلوك البروز في الفتحات الزجاجية
2026 | المؤلف: Haozhong Wang وآخرون | المجلة: Microsystems & Nanoengineering | المجال: الهندسة الكهربائية والإلكترونية (Electrical and Electronic Engineering)تبحث الدراسة في تأثير ظروف التلدين على توزيع الإجهاد المتبقي وسلوك بروز النحاس (Cu) في الفتحات الزجاجية (TGV)، والتي تعتبر حاسمة للتغليف من الجيل التالي بسبب انخفاض خسارة العزل وملاءمتها مع التمدد الحراري. تستخدم الدراسة تقنية النانو إندنتيشن لتحليل تطور الإجهاد المتبقي في الركائز الزجاجية عند درجات حرارة وأوقات تلدين مختلفة، بينما تصف المجهرية القوية…